中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心(以下简称先导工艺研发中心)通过4年的艰苦攻关,在22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设上,实现了重要突破。中国科学院微电子研究所与长电科技(600584)、通富微电(002156)、华天科技(002185)、深南电路有限公司等共同投资设立华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,综艺股份、北京君正是CPU企业。
中国22纳米技术获重大突破 赶上英特尔
中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心(以下简称先导工艺研发中心)通过4年的艰苦攻关,在22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设上,实现了重要突破,在国内首次采用后高K工艺成功研制出包含先进高K/金属栅模块的22纳米栅长MOSFETs,器件性能良好。
据《中国科学报》报道,由于这一工作采用了与工业生产一致的工艺方法和流程,具备向产业界转移的条件,因而对我国集成电路产业的技术升级形成了具有实际意义的推动作用。同时,该先导工艺研发中心建成了一个能够开展22纳米及以下技术代研发的工艺平台。
这标志着,我国也加入了高端集成电路先导工艺研发的国际俱乐部。
优势互补“穿插侦察”齐上阵
4位“千人计划”、5位中科院百人计划,30多位工业界核心的工程师团队……先导工艺研发中心拥有这样一支令人艶羡的国际化研发团队。
下一步,该中心将加入专项部署的更大规模的“战役”,把先导技术转化成工业生产技术,为国家集成电路产业发展作出更多贡献。(中国科学报)